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动态波前测量仪

动态波前测量仪主要实现光学元件面形和光学系统波像差的动态测量，其由激光器、准直镜、平面反射镜、分光镜组件、微透镜阵列、CCD探测器、瞄准模块、标准镜头和校准镜组成。设备利用内置激光光源和不同F#的标准镜头实现对各类光学元件的面形和光学系统波像差的主动式光学测量，不受被测光学元件和光学系统口径限制及外界环境（空气气流扰动、振动等）的影响。同时，利用外置白光光源实现对光学系统波像差的被动式白光波前测量。通过波前测量分析软件对波前实时测量和分析，并快速可靠地给出量化结果，从而指导光学装调或加工，降低产生次品的风险。动态波前测量仪具备检测分析速度快、解析度高、相对数据准确客观、品质稳定、占地面积小、环境影响更小、人员操作简单等优势。

动态波前测量仪

标准镜头

标准球面镜面形现场测量

波前测量分析软件及结果

功能特点

1）测量功能：波前畸变PV、RMS、zernike像差系数/lengder像差系数、斯特列尔比（SR）、点扩散函数（PSF）、线扩散函数（LSF）、调制传递函数（MTF）、瑞奇-康芒法功能模块（选项）；

2）测量方式：实时动态测量及多次平均测量、相对测量及绝对测量；

3）手动及自动设置测量模板（mask）；

4) 非均匀光场波前测量；

5）具有波前测量粗瞄准模块，可实现光路快速对准；

6）紫外-近红外光谱测量范围；

7）具有系统自校准功能；

8）配置不同F数标准镜头；

9）波前测量及分析软件。

技术参数

	项目	技术参数
性能	测量精度（RMS）	1/125λ@635nm、1/80μm（白光）
	测量灵敏度	0.5μrad
	测量动态范围	±3°
	测量帧频	小于1帧/秒
光学部件	光源	635nm（选项）、白光
	标准镜头	F#3.3/5.5/7.6（选项）
	微透镜阵列	64×64、128×128
	探测器靶面尺寸	15mm×15mm
软件	波前测量分析专利软件	操作系统：windows
工作环境	湿度20%-70%；温度 <45℃

测量比对结果

对标准球面镜面形6次测量比对结果：

	PV@632.8nm		RMS@632.8nm		备注
	平均值	标准偏差	平均值	标准偏差	温度：24.8℃ 湿度：50.6%
4D动态干涉仪（美国）	0.081	0.0049	0.0149	0.00038
Zygo激光干涉仪（美国）	0.079	0.0023	0.0103	0.00052
动态波前测量仪	0.074	0.0046	0.0129	0.00059

4D 动态干涉仪测量标准球面镜

Zygo 激光干涉仪测量标准球面镜

光学元件（球面镜、非球面镜、大口径平面镜）面形测量及加工、光学系统波像差测量及装调、激光束波前测量等领域。