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在第11课中,我们设计了一个激光束整形器,以平整化小型HeNe激光器的高斯光束轮廓。 为了降低制造成本,我们尝试用球面的设计来达到这个目标,因为它比非球面更容易制造。 使用一个六片透镜设计,这似乎符合我们的规格。 也许这种设计可以进一步改进,但我们也必须要考虑六片球面镜是否比两片非球面镜更便宜。 如果不是,那么非球面设计看起来更具吸引力。
让我们使用和第11课中相同的双透镜结构开始,进行修改,以便我们只将光通量平坦化为1 / e ** 2点。 得到两倍的孔径似乎是不切实际的,需要需要再次优化。 下面是初始结构文件:
RLE ID LASER BEAM SHAPER ! Beginning of lens input file WA1 .6328 ! Single wavelength UNI MM ! Lens is in millimeters OBG .35 1 ! Gaussian object; waist radius -.35 mm; define full aperture at the 1/e**2 point. 1 TH 22 ! Surface 2 is 22 mm from the waist . 2 RD -5 TH 2 GTB S ! Guess some reasonable lens parameters; use glass type SF6 from Schott catalog SF6 3 UMC 0.3 YMT 5 ! Solve for the curvature of surface 3 so the marginal ray has an angle of 0.3; find !spacing so ray height is 5 mm on next surface RD 20 TH 4 PIN 2 ! Guesses for surface 4 4 5 UMC 0 TH 50 ! Solve for curvature of 5 so beam is collimated. 7 ! Surfaces 6 and 7 exist AFOCAL ! because they are required for AFOCAL output. END ! End of lens input file.
优化命令如下
CHG NOP ! Be sure there are no pickups or solves. 4 PIN 2 5 TH 10 UMC 0 ! move surface 6 before the caustic END PANT ! Start of variable parameter definition. VLIST RAD 2 3 4 5 ! Vary four radii. VLIST TH 3 ! Vary the central airspace. VY 3 CC ! Vary the conic constant on surface 3. VY 4 CC ! And on surface 4. VY 3 G 3 ! Add three aspheric terms to surface3. VY 3 G 6 surface3. VY 3 G 10 VY 4 G 3 ! And three to surface 4. VY 4 G 6 VY 4 G 10 END AANT ! Start of merit function definition. AEC ! Enable automatic edge feathering control. ACC ! Enable automatic center thickness monitoring ASC ! Enable automatic slope control, so curves don’t get too steep. LUL 100 1 1 A TOTL ! Limit the paraxial total length to no more than 150 mm. M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB1 M 5 100 A P YA 0 0 1 0 LB2 ! Assign a target of 5 mm to the marginal ray on surfaces 5, 6. M 0 1 A P FLUX 0 0 1 0 LB1 ! Target the flux difference between the marginal ray point and the on!axis point to 0 on surface 6. M 0 1 A P FLUX 0 0 .99 0 LB1 ! Target the flux at the 0.99 aperture point. M 0 1 A P FLUX 0 0 .98 0 LB1 ! And so on, for a set of zones. M 0 1 A P FLUX 0 0 .97 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .96 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .95 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .94 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .93 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .92 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .91 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .9 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .89 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .88 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .86 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .84 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .82 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .8 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .7 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .5 0 LB1 M 0 1 A P FLUX 0 0 .3 0 LB1 GSO 0 .01 10 P ! Target the OPD of an SFAN of 10 rays to zero, with a weight of .01 GSR 0 50 10 P ! And also target the ray angles to zero. END SNAP SYNO 50
虽然这很简单,但应该指出:为什么GSR用于瞄准光线角度?通常,GSR控制每条光线相对于主光线的实际X坐标 - 但由于此系统处于AFOCAL模式,输出是准直的,因此该案例将以输出角度为目标。
如何指定光线和光通量目标应在表面6?这个系统共有七个表面,计算AFOCAL角度转换所需的两个虚拟面。助记符“LB1”表示“最后但只有一个”,并且在处理输入时它被表面6替换。
此处,选择两个表面上圆锥系数和三个非球面系数为变量。还有更高的系数,这种形式的非球面有22个系数可用,但只有系数G3,G6,G10,G16,G18,G19,G20,G21和G22是旋转对称的。让第4,第6,第8和第10 - 到20阶非球面项作为变量,在这里没有使用最后的六个系数。
让我们运行这个MACro。可能会得到更好的结果,模拟退火几个周期。
这使得评价函数降至2.1E-5,这表明已经找到了一个很好的解决方案。
这是最终设计的FLUX图:
曲线几乎完全均匀,那么OPD误差怎么样?
SYNOPSYS AI>OPD SYNOPSYS AI>SFA 5 P ID LASER BEAM SHAPER 115 20-MAY-17 13:32:54 SAGITTAL RAY FAN ANALYSIS FRACT. OBJECT HEIGHT HBAR 0.000000 GBAR 0.000000 COLOR NUMBER 1 REL ENT PUPIL WAVEFRONT ABERR XEN OPD (WAVES) ________________________________ 0.200 -0.000865 0.400 -6.675373E-05 0.600 0.000361 0.800 -0.000651 1.000 -0.000791
这种设计基本上是完美的,误差小于1/1000,并且它只需要两片透镜。 看起来不需要像第11课的六片透镜那么多镜片的设计!
为了确保正确性,还要检查DPROP的输出波前:
STORE 9 CHG 1 SIN 1 TH 0 CFIX END DPROP P 0 0 6 SURF 2.5 R RESAMPLE GET 9
这正是我们追求的目标。 在这里,该程序再次确定衍射不起重要作用,并且计算纯粹是几何的。
现在唯一的问题是非球面镜的制造难度。查看非球面镜与最近拟合球面(CFS)的距离。
ADEF 3 PLOT ADEF 4 PLOT
这两个非球面镜都距离CFS只有几微米。 看来这是可控的。 看看相对于CFS的边缘模式:
ADEF 3 FRINGES
这样的非球面面型,对加工厂来说,是可以被加工出来的。请参阅第21课,了解如何使用CLINK优化功能来实现这一目标。
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